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超精密加工工作环境高洁净厂房地坪地面如何施工?用什么材料?

2019-06-04 16:18:28 环氧地坪|环氧地坪漆价格 阅读

空气中微粒的尺寸大小已经会对芯片制造产生本质影响。如在研磨中所使用的很细的 SiO2 磨料粒径为 0.05,而空气中所含 0.5 粒径的尘埃微粒要比磨料的粒径大 10 倍,这样大的尘埃若参与了研磨、抛光,将不可避免地使被加工表面产生划伤。集成电路制造过程中,如果在硅片上混入了空气中的尘埃杂质,可能会在后续工序中成为不可控制的扩散源而严重地影响产品质量,尤其在本工程 12 英寸 90 纳米超大规模集成电路中,其图形线条宽度只有 90nm,即使只有一粒 0.1 的尘埃落在复杂的线路网或者元件上面的任何一点,就可能造成断路或短路,造成图形缺陷,整个电路的作用就会被破坏,则芯片整体报废,影响巨大。

超精密加工对工作环境的要求非常苛刻,其体现为对工业厂房洁净度的高要求上。高等级、大面积的洁净室,对厂房的总体设计、建筑设计、空调系统设计、施工安装、运行管理等多方面提出了严格、复杂的要求,极大地增加了设计与施工方面的难度。

空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少,通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低,含尘浓度低则空气洁净度高。日常生活中和工作的空气介质环境中,存在着大量的悬浮颗粒。而现有的一些洁净室无法满足日益发展的超精密加工领域对洁净度的要求,往往造成加工的产品质量过差。

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